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内容紹介

半導体の最先端の技術やノウハウ、システムの凝縮された半導体工場の構成や機能について、さまざまな視点からわかりやすく解説する。世界の半導体工場の増設状況、「中工程」と呼ばれる新たな工程などを新章として加える。

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タイトルコード

1001111733859

書誌種別

図書（和書）

著者名

菊地 正典／著

著者名ヨミ

キクチ マサノリ

出版者

ダイヤモンド社

出版年月

2025.3

ページ数

239p

大きさ

21cm

ISBN

4-478-12201-3

分類記号

549.8

書名

新・半導体工場のすべて 設備・材料・プロセスからAI技術の活用まで

書名ヨミ

シン ハンドウタイ コウジョウ ノ スベテ

副書名

設備・材料・プロセスからAI技術の活用まで

副書名ヨミ

セツビ ザイリョウ プロセス カラ エーアイ ギジュツ ノ カツヨウ マデ

著者紹介

樺太生まれ。東京大学工学部物理工学科卒業。(株)半導体エネルギー研究所顧問。著書に「最新半導体のすべて」「図解でわかる電子回路」など。

件名1

半導体