検索結果書誌詳細

内容紹介

半導体集積回路の高集積化を牽引するリソグラフィ技術の基本と応用を詳述。超微細な構造を実現するナノインプリントリソグラフィ技術、光リソグラフィ技術の解像限界を突破するマルチパターニング技術などについて解説する。

＋ 追加情報を見る

タイトルコード

1001111829810

書誌種別

図書（和書）

著者名

岡崎 信次／著

著者名ヨミ

オカザキ シンジ

出版者

技術評論社

出版年月

2026.5

ページ数

351p

大きさ

21cm

ISBN

4-297-15462-2

分類記号

549.7

書名

EUV時代の半導体リソグラフィ技術 現場の即戦力

書名ヨミ

イーユーヴイ ジダイ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ

著者紹介

ALITECS(株)に入社。IEEE Life Fellow、SPIE Fellow、応用物理学会Fellow。

件名1

リソグラフィー

件名2

半導体

叢書名

現場の即戦力