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蔵書情報

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書誌情報サマリ

タイトル

図解でわかる半導体製造装置

著者名 菊地 正典/監修
著者名ヨミ キクチ マサノリ
出版者 日本実業出版社
出版年月 2007.4


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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 請求記号 配架場所 帯出区分 状態 在架
1 東和0211511621一般図書549//開架通常貸出在庫 
2 保塚0511325557一般図書549//開架通常貸出在庫 

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2016
2016
東京都-政治・行政 プライバシー

書誌詳細

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タイトルコード 1000710025758
書誌種別 図書(和書)
著者名 菊地 正典/監修
著者名ヨミ キクチ マサノリ
出版者 日本実業出版社
出版年月 2007.4
ページ数 182p
大きさ 21cm
ISBN 4-534-04217-0
分類記号 549.8
タイトル 図解でわかる半導体製造装置
書名ヨミ ズカイ デ ワカル ハンドウタイ セイゾウ ソウチ
内容紹介 「半導体製造装置」のしくみとそれを支える技術を解説する。半導体の製造工程の流れと、その各工程で使用される製造装置との関連を明確にしながら説明。装置の構造、操作原理、技術のすべてが理解できる一冊。
件名1 半導体



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