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蔵書情報

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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

タイトル

絵とき放電技術基礎のきそ Electronics Series

著者名 小林 春洋/著
著者名ヨミ コバヤシ ハルヒロ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2007.8


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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 請求記号 配架場所 帯出区分 状態 在架
1 中央1215872621一般図書427.5/コ/開架通常貸出在庫 

関連資料

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2007
放電 プラズマ物理学

書誌詳細

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タイトルコード 1000710058148
書誌種別 図書(和書)
著者名 小林 春洋/著
著者名ヨミ コバヤシ ハルヒロ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2007.8
ページ数 8,178p
大きさ 21cm
ISBN 4-526-05865-3
分類記号 427.5
タイトル 絵とき放電技術基礎のきそ Electronics Series
書名ヨミ エトキ ホウデン ギジュツ キソ ノ キソ
内容紹介 電子機器の製造に必要と思われる放電プラズマの基礎をわかりやすく解説するとともに、各応用製品の原理、特長、重要技術ポイントなどについても、図や表、コラムなどをまじえてわかりやすく説明する。
著者紹介 大正14年福島県生まれ。東北大学電気工学科卒業。東北大学工学部助教授、日本電気株式会社、(株)トーキン等を経て退職。著書に「レーザのはなし」など。
件名1 放電
件名2 プラズマ物理学

(他の紹介)内容紹介 ナノサイズの素子を作るためのキーテクノロジーである放電プラズマ。その各装置と応用の両面での参考書。
(他の紹介)目次 第1章 放電・プラズマの概要(放電・プラズマとは
高度情報化社会を支える放電技術 ほか)
第2章 物質の構成要素と気体(物質の最小微粒子
電子の3つの顔 ほか)
第3章 放電プラズマの基礎(電子と分子の衝突
放電開始 ほか)
第4章 放電プラズマ直接応用(スパッタ薄膜
プラズマCVD ほか)
第5章 プラズマ・プロセス応用(垂直磁気記録
超LSI ほか)
(他の紹介)著者紹介 小林 春洋
 大正14年福島県に生まれる。昭和24年東北大学電気工学科卒業、東北大学工学部大学院特別研究生。昭和31年東北大学工学部助教授、日本電気株式会社。昭和33年工学博士(東北大学)。昭和48年日電バリアン(株)(現キヤノンアネルバ(株))。昭和60年(株)トーキン。昭和63年同退職。1971〜1989東京都立大学工学部電気工学科非常勤講師。1991〜2002東京電機大学工学部電子工学科非常勤講師。1992〜1995中央大学理工学部兼任講師(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)


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