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書誌情報サマリ

タイトル

プラズマ プロセスの原理 第2版

著者名 Michael A.Lieberman/著
著者名ヨミ Michael A Lieberman
出版者 丸善
出版年月 2010.1


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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 請求記号 配架場所 帯出区分 状態 在架
1 中央1216505105一般図書427.6/リ/開架通常貸出在庫 

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2010

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1001010006957
書誌種別 図書(和書)
著者名 Michael A.Lieberman/著   Allan J.Lichtenberg/著   堀 勝/監修   佐藤 久明/訳
著者名ヨミ Michael A Lieberman Allan J Lichtenberg ホリ マサル サトウ ヒサアキ
出版者 丸善
出版年月 2010.1
ページ数 29,612p
大きさ 26cm
ISBN 4-621-08223-2
分類記号 427.6
タイトル プラズマ プロセスの原理 第2版
書名ヨミ プラズマ プロセス ノ ゲンリ
内容紹介 半導体製造装置において使用される弱電離、非平衡プラズマに焦点を絞り、プラズマとプラズマ・プロセスに関する解析方法を基礎から応用まで原理的、解析的、系統的に解説。また、解析結果の適用方法を、多くの例題で提示。
著者紹介 カリフォルニア大学大学院バークレー校電気工学科教授。
件名1 プラズマ物理学



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