検索結果書誌詳細

  • 書誌の詳細です。 現在、予約しているのは 0 件です。
  • 下にある「予約カートに入れる」を押すと予約カートに追加できます。

蔵書情報

この資料の蔵書に関する統計情報です。現在の所蔵数 在庫数 予約数などを確認できます。

所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

タイトル

プラズマプロセス技術 ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー

著者名 プラズマ・核融合学会/編
著者名ヨミ プラズマ カク ユウゴウ ガッカイ
出版者 森北出版
出版年月 2017.1


この資料に対する操作

カートに入れる を押すと この資料を 予約する候補として予約カートに追加します。

いますぐ予約する を押すと 認証後この資料をすぐに予約します。

この資料に対する操作

電子書籍を読むを押すと 電子図書館に移動しこの資料の電子書籍を読むことができます。


登録する本棚ログインメモ


資料情報

各蔵書資料に関する詳細情報です。

No. 所蔵館 資料番号 資料種別 請求記号 配架場所 帯出区分 状態 在架
1 中央1217299708一般図書501.4/フ/開架通常貸出在庫 

関連資料

この資料に関連する資料を 同じ著者 出版年 分類 件名 受賞などの切り口でご紹介します。

2017
2017
501.4 501.4
材料科学 プラズマ物理学

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1001111006732
書誌種別 図書(和書)
著者名 プラズマ・核融合学会/編
著者名ヨミ プラズマ カク ユウゴウ ガッカイ
出版者 森北出版
出版年月 2017.1
ページ数 7,273p
大きさ 22cm
ISBN 4-627-77561-9
分類記号 501.4
タイトル プラズマプロセス技術 ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー
書名ヨミ プラズマ プロセス ギジュツ
副書名 ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー
副書名ヨミ ナノ ザイリョウ サクセイ カコウ ノ タメ ノ アトム テクノロジー
内容紹介 超微細エッチング、プラズマCVD成膜、ナノ材料・構造の創製…。プラズマとそれによる材料プロセスについて、従来の技術を体系的に記述するとともに、最新の研究や技術についてまとめる。
件名1 材料科学
件名2 プラズマ物理学

(他の紹介)内容紹介 最先端のプラズマ応用技術を解説!基礎理論から各種の応用事例、計測・評価技術まで。
(他の紹介)目次 第1章 プラズマ技術の基礎
第2章 プラズマナノプロセスの物理的基礎
第3章 プラズマ気相反応とナノ表面反応の基礎
第4章 ナノエッチング技術
第5章 ナノ材料の基板成長と構造制御
第6章 ナノ粒子の気相合成
第7章 計測技術とプロセス解析


内容細目


目次

前のページへ

本文はここまでです。


ページの終わりです。