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書誌情報サマリ

タイトル

LIGAプロセス 進展する三次元超微細加工技術

著者名 先端加工機械技術振興協会/編
著者名ヨミ センタン カコウ キカイ ギジュツ シンコウ キョウカイ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 1998.8


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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 請求記号 配架場所 帯出区分 状態 在架
1 中央1214314484一般図書532/リ/開架通常貸出在庫 

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2019
2019
E E

書誌詳細

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タイトルコード 1009810471321
書誌種別 図書(和書)
著者名 先端加工機械技術振興協会/編
著者名ヨミ センタン カコウ キカイ ギジュツ シンコウ キョウカイ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 1998.8
ページ数 272,4p
大きさ 22cm
ISBN 4-526-04223-4
分類記号 532
タイトル LIGAプロセス 進展する三次元超微細加工技術
書名ヨミ リガ プロセス
副書名 進展する三次元超微細加工技術
副書名ヨミ シンテン スル サンジゲン チョウビサイ カコウ ギジュツ
内容紹介 LIGA技術の原理と歴史的変遷、実際の製作工程と要素技術、試作された応用例、国内外のLIGA関連施設、LIGA技術の経済性と市場性の将来展望など、LIGA技術を基礎から応用までまとめる。
件名1 機械工作



内容細目


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