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蔵書情報

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書誌情報サマリ

タイトル

ナノ構造作製技術の基礎 シリーズ物性物理の新展開

著者名 曽根 純一/編
著者名ヨミ ソネ ジュンイチ
出版者 丸善
出版年月 1996.11


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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 請求記号 配架場所 帯出区分 状態 在架
1 中央1214254060一般図書549/ナ/閉架書庫通常貸出在庫 

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1996
549.8 549.8
半導体 結晶成長

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1009810381474
書誌種別 図書(和書)
著者名 曽根 純一/編
著者名ヨミ ソネ ジュンイチ
出版者 丸善
出版年月 1996.11
ページ数 185p
大きさ 22cm
ISBN 4-621-04231-9
分類記号 549.8
タイトル ナノ構造作製技術の基礎 シリーズ物性物理の新展開
書名ヨミ ナノ コウゾウ サクセイ ギジュツ ノ キソ
内容紹介 ナノ構造の物性を正しく理解しその工学的応用を図るという観点で、物理的基礎から最先端の技術まで、豊富な図・写真を含む実験結果を交えて、わかりやすく解説する。
件名1 半導体
件名2 結晶成長

(他の紹介)内容紹介 本書は、ナノ構造の物性を正しく理解しその工学的応用を図るという観点で、分子線エピタキシャル成長法、有機金属気相成長法、原子層エピタキシャル成長法、ビーム露光技術、ドライエッチング法について、物理的基礎から最先端の技術まで、豊富な図・写真を含む実験結果を交えて、わかりやすく解説する。
(他の紹介)目次 分子線エピタキシー
有機金属気相成長法
原子層エピタキシー
ビーム露光技術
結晶加工技術


内容細目


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