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書誌情報サマリ

タイトル

相対性理論の一世紀 講談社学術文庫 2256

著者名 広瀬 立成/[著]
著者名ヨミ ヒロセ タチシゲ
出版者 講談社
出版年月 2014.9


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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 請求記号 配架場所 帯出区分 状態 在架
1 中央1216952885一般図書B421//文庫通常貸出在庫 

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1998
549.8 549.8
半導体

書誌詳細

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タイトルコード 1001110391125
書誌種別 図書(和書)
著者名 広瀬 立成/[著]
著者名ヨミ ヒロセ タチシゲ
出版者 講談社
出版年月 2014.9
ページ数 333p
大きさ 15cm
ISBN 4-06-292256-2
分類記号 421.2
タイトル 相対性理論の一世紀 講談社学術文庫 2256
書名ヨミ ソウタイセイ リロン ノ イッセイキ
内容紹介 「力の統一」「宇宙のしくみ」など、現代物理学の起源となった研究はいかに生まれたか。最先端の物理学にまで大きな影響を及ぼす相対性理論の本質を、豊富なエピソードを交え、わかりやすく解説する。
件名1 相対性理論

(他の紹介)内容紹介 微細化を阻む壁は三次元実装で突破。半導体製造工程がスッキリとわかる!
(他の紹介)目次 半導体製造プロセスを理解する
前工程の概要
洗浄・乾燥ウェットプロセス
イオン注入・熱処理プロセス
リソグラフィプロセス
エッチングプロセス
成膜プロセス
平坦化(CMP)プロセス
後工程プロセスの概要
後工程の最新動向
半導体プロセスの今後の動向
(他の紹介)著者紹介 佐藤 淳一
 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。1978年、東京電気化学工業(株)(現TDK)入社。1982年、ソニー(株)入社。一貫して、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ(セリート)創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験。テクニカルライターとして活動。応用物理学会員(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)


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